| 設備名稱 | · 2300℃自動化超快熱壓爐 RTP-MS-AR |
| 產(chǎn)品特點 | · 不銹鋼雙層水冷腔體，真空度可達2x10-2torr（冷態(tài)下機械泵），5x10-5torr（冷態(tài)下分子泵） · 石墨作為加熱元件，最高溫度可達到 2300℃，最快升溫速率可達200℃/S · 標配16套直徑φ10mm石墨模具，一次可自動化完成8個樣品的超快熱壓 · 上部配置一套500Kg的自動恒壓機 · 采用高精度紅外測溫儀測量溫度 |
| 基本參數(shù) | · 電源：三相AC 380V±5% 50/60HZ · 功率：30 KW · 最高加熱溫度：2300℃（≤5min） · 加熱元件：石墨 · 最快加熱速率：≤ 200℃/s · 最快降溫速率：2300℃—2000℃≤ 150℃/s 2000℃—1500℃≤ 120℃/s 1500℃—1000℃≤ 30℃/s · 石墨模具尺寸：直徑φ10mm，最大壓料厚度：5mm
· 壓機最大行程：30mm · 壓力顯示范圍：1-500Kg · 壓力控制范圍：50-500Kg（可根據(jù)客戶需要定制其它量程壓力壓機） · 保壓時間：1-9999min · 壓機有兩種工作模式：手動加壓和自動加壓。自動加壓模式下設備帶有恒壓功能：當壓力值達到目標值后，在保壓的過程中，設備持續(xù)補壓使壓力保持在設定值。恒壓精度：±3Kg
· 樣品尺寸范圍：≤直徑φ10mm*厚度5mm的粉末樣品 （可根據(jù)客戶需要定制其它尺寸模具） |
| 真空水冷腔室 | · 材質(zhì)：304不銹鋼 · 尺寸：外徑φ345*內(nèi)徑φ315*L380mm · 內(nèi)部采用石墨氈保溫 · 一個不銹鋼法蘭蓋安裝在腔體上。KF40的接口上安裝了一根可伸縮波紋管，波紋管頂部安裝有壓機 · 紅外測溫儀通過法蘭蓋上一個φ35mm觀察窗探測樣品的溫度 · 腔體右側兩個φ6.35的卡套接頭進氣口，一個用于通入惰性氣體，一個備用。進氣口通過設備右側的精密調(diào)節(jié)閥控制進氣流量。腔體左側有兩個φ6.35的卡套接頭作為排氣口，排氣口通過不銹鋼針閥控制通斷 · 兩根M24的陶封電極安裝在底部法蘭上，石墨模具安裝在電極支撐柱上的石墨螺桿上
· 腔體通過上部的電機帶動絲桿機構，實現(xiàn)自動上升和下降，方便機器人轉(zhuǎn)運系統(tǒng)實現(xiàn)自動放入和取出石墨模套組件 |
| 溫控系統(tǒng) | · 使用紅外測溫儀檢測溫度，紅外測溫儀溫度測量范圍：550-3000℃ 測量精度：±(0.5% FS+2℃)，重復精度：±0.3% FS
· 控溫方式：手動控溫和程序控溫（通過“手動/自動切換開關”切換） · 手動控溫：通過右側面板上的電流調(diào)節(jié)旋鈕調(diào)節(jié)電流值，從而調(diào)節(jié)溫度 · 程序控溫：安裝了一個數(shù)顯PID溫度控制器，可設置30段升降溫程序,恒溫控溫精度為±3℃ |
| 電動脫模裝置 | · 系統(tǒng)配置一套電動缸，通過步進電機帶動，配合機器人轉(zhuǎn)運系統(tǒng)實現(xiàn)對熱壓樣品的自動脫模 · 脫模電動缸最大壓力：1T
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| 機器人轉(zhuǎn)運系統(tǒng) | · 額定負載：2KG · 工作半徑：625mm · 最大臂展：1096mm · 額定電壓： DC48V · 本體重量：25KG · 重復定位精度：±0.02mm · 通訊方式：TCP/IP,Modbus,無線網(wǎng)絡 · 典型功耗：150W · 機器人安裝在固定平臺上，實現(xiàn)對8個石墨模具和樣品的自動化超快熱壓
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| 視覺檢測系統(tǒng) | · 設備標配一套視覺檢測系統(tǒng)，用于在自動化熱壓過程中對樣品狀態(tài)進行監(jiān)測
· 型號：KJ-IV4-600CA · 圖像傳感器：1/2.9英寸（彩色CMOS） · 光源：白色LED · 亮燈方式：脈沖/連續(xù)亮燈 可切換 · 電源電壓：DC 24V |
| 上位機操作系統(tǒng) | · 整套設備的操作全部可以通過上位機軟件進行操作，通過設置每個熱壓樣品的溫度、壓力和保壓時間，系統(tǒng)將自動運行實現(xiàn)對樣品的超快熱壓操作，并將熱壓好的樣品放置在圓形的轉(zhuǎn)運盤上面，方便后續(xù)工序的全流程機器人實現(xiàn)全自動化操作
· 系統(tǒng)自帶MODBUS TCP通訊協(xié)議，便于客戶和其它設備進行組合通訊，實現(xiàn)全流程的自動化操作 |
| 皮拉尼真空計 | · 測量范圍：1*10-4 mbar—1000 mbar（1*10-4—750 torr） · 準確度：1000mbar—20 mbar（讀數(shù)的30%） 20—0.002mbar （讀數(shù)的2%） · 重復性：20—0.002mbar （讀數(shù)的2%） · 使用濕度：30℃環(huán)境下≤80% 40℃環(huán)境下≤50%無冷凝氣體 · 使用溫度：5℃—60℃
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| 水冷機 | · 型號:KJ-6300 · 電源: 單相 AC220V±5% 50Hz · 功率：4.6 KW · 制冷量：26826Btu/h · 水箱容量:40L · 最大流量:75L/min · 重量：≈165KG · 機器尺寸：655×810×1170mm﹙L×W×H﹚
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| 真空系統(tǒng)（選配） | · 電機功率：1100 W · 極限壓強：4×10-1Pa（不帶負載） · 如果想要獲得更高的真空度（10-5toor 或更高）可選購國產(chǎn)或進口高真空機組
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| 設備外形尺寸 | · 主機外形尺寸：1600mm（L）*1060mm（W）*1350mm（H） · 控制柜外形尺寸：850mm（L）*630mm（W）* 1200mm（H）
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| 凈重 | · 約400KG |
| 質(zhì)保 | · 一年保修，終身技術支持 · 特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石墨模具等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損失不在保修范圍內(nèi)。 |
使用注意事項 | · 不銹鋼腔體內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa（相對氣壓）； · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向腔體內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全； · 對于樣品的超快熱壓實驗，不建議同時關閉進氣閥門和抽氣閥門使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生。 · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題，本公司概不負責。 |
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