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750℃真空平板熱壓機(平板135×135~350×350mm,5T)
型號:
YLJ-HPV-7-XX
產品概述:
YLJ-VHP7 是一款真空平板熱壓機,專為晶圓鍵合、薄膜轉移和 LCP 層壓設計,加熱面積為 135 ×135mm~350×350mm。其最高工作溫度為 750 ℃,最大壓力為 20T~40T。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
基本參數


產品型號

·YLJ-VHP7-4

·YLJ-VHP7-12

電壓和功率

·AC 208 - 240 V, 50/60 Hz
·單相 4.8KW

·AC 208 - 240 V, 50/60 Hz
·單相 15KW

加熱平板

(其他尺寸可定制)

·135×135mm

·平面度<0.02mm(區域100×100mm)

·350×350mm

·平面度<0.03mm(區域250×250mm)

2個平板最大距離

(可放樣品最大厚度)

·80mm

·200mm

腔體尺寸和容積

·670長×630寬×670高(mm)
·~ 282L

·670 L x 630 W x 719H (mm)
·~ 303 L

加熱平板承受最大壓力

·5T (750℃)

·5T(750℃)


真空平板熱壓機結構

·2塊加熱平板最高工作溫度750℃,采用高溫合金制作

·加熱元件插入加熱板的中心,以實現快速加熱。

·2塊加熱板分別由2個溫控儀表獨立控溫,50段程序控溫

·在加熱板的頂部和底部都安裝了水冷套管,以輔助散熱。進/出水管為外徑12mm聚氨酯管

圖片1.png 圖片2.png  

壓機

·壓缸形成40mm

·壓力顯示范圍:2.00-5000.00kg

·壓力控制范圍:50-5000Kg

·保壓時間:1-9999min

·設備有兩種工作模式:手動加壓和自動加壓。自動加壓模式下設備帶有恒壓功能:當壓力值達到目標值后,在保壓的過程中,設備持續補壓使壓力保持在設定值。

·恒壓精度:±3kg


溫度控制和壓力顯示

·2塊加熱板分別由2個溫控儀表獨立控溫,50段程序控溫,控溫精度±3℃

·溫度控制器具備 PID 自動校準功能、過熱保護以及斷熱電偶保護功能。

·最高工作溫度:750℃<30分鐘,連續工作溫度700℃(惰性氣氛或真空環境下)

·最高加熱速率:5℃/min

·控制面板內內置了一款數字壓力計(控制器)。您可以設定所需的壓力值,這樣就能使電動液壓機到達壓力值時自動恒壓。

圖片3.png 

真空腔體

·電動液壓機和加熱板被放置在真空室內部

·真空室由 SS304 不銹鋼制成

·安裝有一個真空密封門,直徑300mm,有一個直徑150mm的石英窗口,便于裝樣品和觀察

·所有真空密封均使用硅橡膠 O 型圈

·可選購安裝了一個數字真空計(10E-4Torr)測量真空腔室的真空度


可選

·可選購設備(需額外費用)

·需要一臺循環水冷機,用于對過熱的散熱板進行冷卻,以加快冷卻速度。

·可選購真空泵,機械泵抽真空度300mTorr,分子泵系統抽真空度10-4Torr

圖片4.png 圖片5.png 圖片6.png   

應用注意

·此款熱壓機也可用于測量熱電發電機模塊(頂部受熱,底部冷卻)

圖片7.png 

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