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四電弧單晶生長(zhǎng)系統(tǒng)(4電弧熔樣品,3000℃,可轉(zhuǎn)動(dòng)水冷銅坩堝)
型號(hào):
SKJ-ARC-CZ
產(chǎn)品概述:
SKJ-ARC-CZ 是一款單晶生長(zhǎng)爐,4個(gè)電弧熔煉腔安裝在真空腔體上,一個(gè)旋轉(zhuǎn)提拉機(jī)構(gòu)安裝在設(shè)備上。此款單晶生長(zhǎng)爐用于熔點(diǎn)特別高的材料進(jìn)行單晶生長(zhǎng),設(shè)備對(duì)樣品熔煉溫度可達(dá)3000℃
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電源要求

·輸入電壓:220 VAC , 單相

·功率:16KW.

·直流輸出:   

  4個(gè)熔煉電弧槍

  每個(gè)電弧槍的電源輸出 15 V / 185 A ,35%占空比 

·脈沖 DC 和AC 輸出模式可選

·4個(gè)電弧槍,每個(gè)電弧槍需要40A的空氣開關(guān)

圖片1.png 

提拉機(jī)構(gòu)

·提拉機(jī)構(gòu)采用精密伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)

·提拉速度: 0.1-10 mm/hr

·提拉桿轉(zhuǎn)速: 0.1-23 rpm

·提拉行程: 0-300mm

·快速提拉模式 35mm/min


電弧槍(氬弧槍)

·4個(gè)氬弧槍安裝在真空腔體上

·每個(gè)電弧槍上安裝有直徑Φ4mm的鎢針,帶有水冷套

·鎢針與水冷銅坩堝的距離和角度可調(diào)節(jié)

·熔煉量最大可達(dá)300g(按Fe的密度)


真空度

·不銹鋼真空腔體,可抽真空排氣和通入惰性氣體

·安裝有數(shù)字防腐型真空計(jì)(傳感器上涂有陶瓷涂層),測(cè)量范圍:10 ^-5 ~ 1000 torr

·真空度: 5x 10-5 torr (分子泵系統(tǒng)))  5 × 10-2 Torr (機(jī)械泵)

·可在本公司選購各種真空泵

圖片2.png 圖片3.png 圖片4.png   

坩堝

·水冷銅坩堝:直徑100 mm ×深度15 mm

·最大熔煉量約300個(gè)(按Fe密度)

·坩堝可轉(zhuǎn)動(dòng):1~20rpm(保證熔煉均勻性)


圖片5.png 

循環(huán)水冷機(jī)(可選)

·需要冷卻水對(duì)電源,電弧槍,真空腔體和銅坩堝進(jìn)行冷卻

·本公司建議選購水冷機(jī)KJ-6300

圖片6.png 

設(shè)備尺寸

·2000L×1000W×2050H(mm)


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