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1100℃流化床CVD(FBCVD)爐 (配φ22mm法蘭用于粉末CVD)
關(guān)鍵字:
管徑Φ25mm
型號:
OTF-1200X-SFB
產(chǎn)品概述:
OTF-1200X-S-FB是一款流化床立式爐,Φ25mm石英爐管(爐管中心區(qū)域直徑為Φ50mm),用于粉末CVD實(shí)驗(yàn)(FBCVD)。石英管中焊接一個微孔石英板,實(shí)驗(yàn)時樣品粉末放置于微孔石英板上。微孔石英板上的微孔尺寸15~40um,允許調(diào)節(jié)氣流通過微孔石英板,使粉末在爐體加熱區(qū)域懸浮起來,粉末和反應(yīng)氣體發(fā)生反應(yīng)或沉積。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
流化床區(qū)域

· 在爐管內(nèi)部的一個橫截面上能到達(dá)一個均勻的氣流分布

· 固體顆粒通過上升的氣體,穩(wěn)定地懸浮在一個區(qū)域

· 對于每一個樣品顆粒都能達(dá)到一個極好地?zé)峤粨Q和包覆效果

· 打開密封法蘭,處理好的材料可從爐管頂部倒出

注意:氣體以足夠高的流速上升穿過微孔石英板使粉末漂浮起來。然而如果氣體流速太高,粉末可能會飛出石英爐管。所以用戶需根據(jù)粉末的顆粒度,調(diào)節(jié)氣壓和流速,使粉末穩(wěn)定地漂浮在爐管中心。

圖片3.png圖片4.png

微孔石英板

· 石英管內(nèi)焊接有一個微孔石英管,爐管頂部和底部進(jìn)氣,強(qiáng)制氣體對流,使粉末樣品顆粒均勻漂浮在加熱區(qū)中心

   微孔石英板:多孔: 15~40 um,尺寸:Φ 22mm  x 4mm (厚)

圖片5.png圖片6.png 圖片7.png

可選爐管

可選SS310不銹鋼罐,可高溫高壓使用

最高溫度:800℃

最大氣壓10MPa(安裝有一個自動泄壓閥)

可增加ALD系統(tǒng),與設(shè)備配合,對粉體材料包覆

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爐體結(jié)構(gòu)

雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)

爐體開啟式設(shè)計,方便更換爐管

采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,最大提高加熱效率


功率

1200W


電壓

AC208~240V  單相   50/60Hz


最高工作溫度

1200℃(<1小時)


連續(xù)工作溫度

1100℃


最大加熱速率

20℃/min


爐管尺寸和材質(zhì)

1根異形石英管,兩端細(xì),中間粗

兩端:外徑25mm×內(nèi)徑22mm,  中間:外徑50mm×內(nèi)徑44mm

圖片9.png圖片10.png

密封法蘭

底部法蘭:配有一套直徑為Φ25mm,安裝有機(jī)械壓力表,閥門和Φ6.35mm通氣接口

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可選

可選購混氣系統(tǒng),用于CVD或ALD實(shí)驗(yàn)

可選購氧傳感器,來檢測爐管內(nèi)部的氧含量

可選購超聲噴霧系統(tǒng),可將液體前驅(qū)體霧化到爐管內(nèi)部

可選購自動粉料進(jìn)料機(jī)構(gòu)

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加熱區(qū)

200mm


恒溫區(qū)

60mm


加熱元件

 Fe-Cr-Al 合金摻 Mo


溫控系統(tǒng)

· 可設(shè)置50段程序段:加熱速率,降溫速率和保溫時間

· PID方式調(diào)節(jié)溫度,溫度自整定功能,帶有超溫&斷熱電偶報警

· 超溫保護(hù)和報警,避免操作事故發(fā)生

· 控溫精度:±1℃

K型熱電偶


設(shè)備尺寸

340mm×300mm×1000mm ( W x L x H)


凈重

~20Kg


電腦&軟件(可選)

Labview溫度控制軟件系統(tǒng)(MTS01)可用于用電腦控制爐體:編輯溫度程序參數(shù)和導(dǎo)出實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)

圖片17.png 圖片18.png

質(zhì)保

一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不含爐管,密封圈和加熱元件等耗材)


質(zhì)量認(rèn)證

CE


警告

此管式爐爐管為石英管可在低壓或常壓環(huán)境下使用,爐管內(nèi)正壓需<0.02MPa

注意:氣瓶上必須安裝雙級減壓閥,出口氣壓需減到0.02MPa

當(dāng)設(shè)備使用溫度≧1000℃時,為防止?fàn)t管變形,爐管內(nèi)必須為常壓,不可為負(fù)壓


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