| 產品特點 | ? 包含卷對卷線材收放卷運動模塊、1200℃雙溫區可開啟式管式爐模塊、PE等離子增強模塊、真空系統以及四路質子流量計供氣系統五部分
? 整套體系可在真空/氣氛保護環境下工作
? 運動模塊采用全進口控制組件，保證線材在管式爐中以穩定速度和張力進行走樣，速度范圍：1-400mm/min
? 線/帶材速度及張力可調，張力范圍：0.0611~0.611N
|
| 1200℃開啟式雙溫區管式爐 | ? 工作電源：AC220V，50/60Hz
? 功率：3KW
? 加熱元件：電阻絲
? 最高溫度：1200℃ (使用時必須通入惰性氣體以防止爐管發生形變)
? 長期使用溫度：1100℃
? 推薦升溫速率:≤ 20℃ /min
? 爐管：高純石英管：φ60*1400mm
? 總加熱區長度：400mm ? 恒溫區長度：200mm
? PID控溫，具有超溫及斷偶保護
? 控溫精度：±1℃
|
| 線材收放卷運動模塊 | ? 放樣筒徑：OD140mm*ID65mm（可放樣最大厚度：35mm）
? 筒寬：120mm
? 可調速范圍：1-400mm/min
? 可放樣直徑：10μm~2mm
? 張力調節范圍：0.0611~0.611N
? 放樣筒采用氣動夾爪連接方式，方便拆卸安裝
|
| 500W等離子源 | ? 配備500W功率可調等離子源，用于等離子增強反應活化，促進反應進行 ? 輸出功率：50-500W最大可調±1%
? RF頻率： 13.56MHz，穩定性±0.005%
? 噪聲：≤55DB
? 冷卻：風冷
? 輸入功率：1KW AC 220V |
| 四路質子流量計控制系統（標配） | ? 電壓：AC220V/50Hz
? 功率：23W
? PLC觸摸屏控制
? 混氣罐尺寸：φ80*120mm
? 工作溫度：5~45 oC
? 最大壓力: 3x106 Pa
? 精度: ±1.5% FS
? 線性: ±（0.5-1.5）%F.S.
? 重復精度: ±0.2%F.S.
? 流量范圍: 一路: 1~99 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1-499SCCM 氣體種類標定根據客戶要求可以進行其它選擇 |
| 真空測量單元 | ? 型號：PGC-554-LD
? 顯示范圍：3.8E-5 to 1125 Torr
? 精度： 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50 1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15 100 … 950 mbar % of reading ±5 950 … 1050 mbar % of reading ±2.5 |
| 低真空機組（標配） | ? 由雙旋機械泵、雙層立式油霧過濾器（PE材質）、電阻真空計以及連接管道接頭等組成
? 真空泵抽氣速率≥4.4L/s
? 極限真空度10-1Pa
? 真空計測量范圍10-1Pa-105 Pa |
| 產品尺寸 | ? 2800mmL*1500mmW*1200mmH |
| 質保期 | ? 一年保證期，終生維護
? 注：相關耗材除外，如加熱元件，密封圈等易耗件 |
| 質量認證 | ??若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證
|
| 使用注意事項 | · 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
· 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
· 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態
· 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
· 石英管的長時間使用溫度＜1100℃
· 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
![23453[1].png](/UserFiles/upload/image/20220319/6378329945029560431971083.png "23453[1].png")
合肥科晶品牌紀錄片 公司環境
查看誠信檔案
皖公網安備 34012302000974號
