實驗設備及參數：氬氣氛圍，OTF-1200X-50S-PE-SL、OTF-1200X-50-4CLV-PE（管徑80，PE最大功率500W）、VRD-8、VRD-16、VRD-24、VRD-48，質子流量計、OTF-1200X-50S-PE-SL                                         進氣速率0-300sccm，OTF-1200X-50-4CLV-PE進氣速率0-1000sccm。

實驗目的：通過控制進氣量，測試不同型號泵的抽速對PECVD起輝效果的影響。通過控制進氣量，測試管徑、最大功率對PECVD起輝效果影響

實驗結論：

（1）對于使用同一臺機械泵，進氣端靠近線圈比進氣端遠離線圈時所需起輝功率更小；

（2）在可起輝的真空范圍內，起輝功率隨著真空度升高而降低，但總體相差不大；

（3）相對于OTF-1200X-50S-PE-SL設備，隨著進氣量增大，系統真空度逐漸降低，需要更大抽速的機械泵維持系統的高真空度；

使用VRD-8和VRD-16，進氣端靠近線圈時，進氣量≦20sccm，輝光可充滿全管，而進氣端遠離線圈時，需要進氣量≦3sccm；

使用VRD-24進氣端靠近線圈時，進氣量≦50sccm，輝光可充滿全管，而進氣端遠離線圈時，需要進氣量≦5sccm；

使用VRD-48進氣端靠近線圈時，進氣量≦100sccm，輝光可充滿全管，而進氣端遠離線圈時，需要進氣量≦20sccm；

（4）對比OTF-1200X-50S-PE-SL與OTF-1200X-50-4CLV-PE：

相同進氣速率下（尤其是高進氣速率時），管徑越大越易起輝；

相同進氣速率下（尤其是高進氣速率時），起輝功率越大輝光范圍越長；

（5）在PECVD使用期間，由于真空泵抽速影響會對浮子流量計產生影響，因此在進行邊進氣邊抽真空的實驗中要使用質子流量計控制進氣量；

（6）進氣量保持不變，調節進氣針閥對系統真空度的影響：初期朝關閉方向旋緊針閥對系統真空度幾乎無任何影響，在針閥即將關閉的最后一至半圈，旋緊針閥，系統真空度急劇增大。

實驗步驟：

（1）按圖示連接設備

進氣端遠離線圈圖示                                  進氣端靠近線圈圖示

（2）使用質子流量計控制進氣量為300sccm，使用VRD-8最大抽速對整個系統進行抽真空，待系統穩定后記下泵口出小藍表真空度，打開射頻電源，測試系統可起輝的最小功率，待起輝后，將功率增大至300W，觀察輝光變化并記錄；

（3）降低進氣量（200、100、50、20、10、5、3、1、0），重復上述實驗；

（4）實驗結束后，調換進氣口與泵抽氣口位置，重復步驟（1）和（2）。

（5）更換機械泵（VRD-16、VRD-24、VRD-48），重復步驟（1）、（2）和（3）。

（6）使用VRD-48，更換OTF-1200X-50-4CLV-PE（80管徑）設備，進氣量（1000，,800、500、300、200、100、50、20、10、5、3、1、0）重復上述實驗。

實驗結果：

圖 1.泵的抽速對輝光長度的影響（進氣端靠近線圈）      圖 2.泵的抽速對輝光長度的影響（進氣端原理線圈）

圖 3.真空度(Torr)與流量的關系                           圖 4.管徑對輝光長度影響

特別聲明：

1. 以上所有實驗僅為初步探究，僅供參考。由于我們水平有限，錯誤疏漏之處歡迎指出，我們非常期待您的建議。

2. 歡迎您提出其他實驗思路，我們來驗證。

3. 以上實驗案例及數據只針對科晶設備，不具有普遍性。

4. 因為涉及保密問題，以上數據僅為部分數據，歡迎老師與我們聯系，我們非常期待和您共同探討設備的應用技術。